L1

18.5

22

L2

10.1

6.2

L3

8.1

4.2

測(cè)量桿的驅(qū)動(dòng)
自由狀態(tài)時(shí)測(cè)量桿位置

線(xiàn)纜或被測(cè)對(duì)象驅(qū)動(dòng)
伸出

氣動(dòng)
縮回

測(cè)量基準(zhǔn)

Zerodur玻璃陶瓷基體的DIADUR相位光柵；柵距4 μm

系統(tǒng)精度

± 0.2 μm

單信號(hào)周期位置誤

≤± 0.2 μm

參考點(diǎn)

上止點(diǎn)下方約1.7 mm處

測(cè)量范圍

12 mm

25 mm

12 mm

25 mm

測(cè)量力

參見(jiàn)測(cè)量力—測(cè)量桿驅(qū)動(dòng)

“無(wú)彈簧”版
垂直向下

0.13 N1)

0.17 N1)

–

壓縮空氣

–

≤ 1.4 bar

徑向力

≤0.8 N（機(jī)械允許）

固定

裝夾桿φ8h6

工作姿態(tài)

任意；對(duì)于無(wú)彈簧版：垂直向下

振動(dòng) 55 Hz至2 000 Hz
沖擊 11 ms

≤100 m/s2 (EN 60 068-2-6)
≤1 000 m/s2 (EN 60 068-2-27)

工作溫度

10 °C至40 °C；標(biāo)準(zhǔn)溫度20 °C

防護(hù)等級(jí)EN 60 529

IP 50

IP 64（有密封空氣）

重量不帶電纜

100 g

180 g

110 g

190 g

電氣參數(shù)

MT 1271
MT 2571

MT 128x
MT 258x

接口

卐TTL

~ 1 VPP

內(nèi)部細(xì)分倍數(shù)*

5倍

10倍

–

信號(hào)周期

0.4 μm

0.2 μm

 2 μm

機(jī)械允許運(yùn)動(dòng)速度

≤30 m/min

邊沿間距a，
掃描頻率*/運(yùn)動(dòng)速度時(shí)
200 kHz≤24 m/min
100 kHz≤12 m/min
50 kHz≤6 m/min
25 kHz≤3 m/min

≥ 0.23 μs
≥ 0.48 μs
≥ 0.98 μs
–

–
≥0.23 μs
≥0.48 μs
≥0.98 μs

–

電氣連接*
（接口電子設(shè)備在接頭中）

電纜長(zhǎng)度1.5 m帶D-sub接頭（針式）,15針

電纜長(zhǎng)度1.5 m帶
? D-sub接頭（針式），15針
? M23接頭（針式），12針

電纜長(zhǎng)度

≤30 m海德漢電纜

電源

5 V DC ± 0.5 V/< 160 mA（無(wú)負(fù)載）

5 V DC ± 0.25 V/< 130 mA