L37直線光柵尺技術(shù)指標(biāo)測(cè)量基準(zhǔn)玻璃光柵，柵距20μm/40μm測(cè)量范圍140mm～3240mm準(zhǔn)確度±5μm/±3μm信號(hào)類型TTL（RS422）1Vpp分辨率5μm/2.5μm/1μm/0.5μ...
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